Законы и постановления РФ

Закон Красноярского края от 26.12.2000 N 13-1094 “О краевой целевой программе “Создание производства полупроводникового кремния в Красноярском крае“ на 2000 - 2002 годы“

Вступает в силу в соответствии со статьей 2 данного документа

26 декабря 2000 года N 13-1094

ЗАКОНОДАТЕЛЬНОЕ СОБРАНИЕ КРАСНОЯРСКОГО КРАЯ

ЗАКОН

КРАСНОЯРСКОГО КРАЯ

О КРАЕВОЙ ЦЕЛЕВОЙ ПРОГРАММЕ “СОЗДАНИЕ ПРОИЗВОДСТВА

ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО КРЕМНИЯ В КРАСНОЯРСКОМ КРАЕ“

НА 2000 - 2002 ГОДЫ

Статья 1.

Утвердить краевую целевую программу “Создание производства полупроводникового кремния в Красноярском крае“ на 2000 - 2002 годы согласно приложению.

Статья 2.

Настоящий Закон вступает в силу в день, следующий за днем его официального опубликования в газете “Красноярский рабочий“.

Губернатор

Красноярского края

А.И.ЛЕБЕДЬ

Приложение

к Закону Красноярского края

от 26 декабря 2000 г. N 13-1094

ПАСПОРТ

КРАЕВОЙ ЦЕЛЕВОЙ ПРОГРАММЫ

“СОЗДАНИЕ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО КРЕМНИЯ

В КРАСНОЯРСКОМ КРАЕ“ НА 2000 - 2002 ГОДЫ

Наименование краевая целевая программа “Создание

программы производства полупроводникового кремния в

Красноярском крае“ на 2000 - 2002 годы

Основание для Соглашение между администрацией Красноярского

разработки края и Министерством Российской Федерации по

программы атомной энергии от 06.08.99 N 127 “О

сотрудничестве при создании производства

полупроводникового кремния в Красноярском крае“

Государственный комитет по науке и высшему образованию

заказчик программы администрации края

Основные комитет по науке и высшему образованию

разработчики администрации края;

программы специальное конструкторско-технологическое бюро

“Наука“ Красноярского научного центра

Сибирского отделения РАН;

Красноярский государственный университет;

Лесосибирский педагогический институт, филиал

Красноярского государственного университета

Цель программы объединение научно-технического потенциала края

и промышленных предприятий для ускорения

создания комплексного производства

полупроводникового кремния в Красноярском крае

Срок реализации 2000 - 2002 годы

программы

Направления привлечение научных организаций Красноярского

реализации научного центра Сибирского отделения РАН, вузов

программы и промышленных предприятий края для проведения

научно-исследовательских и опытно-

конструкторских работ для создания

нестандартного технологического и

электротехнического оборудования по

производству кремния:

- разработка системы контроля и сертификации

качества поликристаллического кремния на основе

требований международных стандартов;

- разработка технологического регламента на

проектирование производственного участка

контроля и сертификации качества

поликристаллического кремния;

- исследование процесса тепломассопереноса в

системе кристалл-расплав при выращивании

монокристаллического кремния;

- разработка измерительно-вычислительного

комплекса для контроля удельного электрического

сопротивления контрольных монокристаллов

кремния двухзондовым методом;

- разработка и изготовление установки для

измерения времени жизни неосновных носителей

заряда в полупроводниковом кремнии

бесконтактным сверхвысокочастотным методом;

- разработка методик и измерительно-

вычислительного комплекса для измерения

основных параметров полупроводников на основе

эффекта Холла и инфракрасной спектрометрии;

- разработка установки для определения типа

электропроводности монокристаллического

кремния;

- разработка измерительно - вычислительного

комплекса для контроля четырехзондовым методом

удельного электрического сопротивления шайб

кремния диаметром до 200 мм;

- подготовка специалистов для производства

полупроводникового кремния на базе вузов и

Красноярского научного центра Сибирского

отделения РАН

Главный комитет по науке и высшему образованию

распорядитель администрации Красноярского края

бюджетных средств

-------------------T----------T----------T-------------T---------¬

¦Объемы ¦ Всего ¦ 2000 г. ¦ 2001 г. ¦ 2002 г. ¦

¦финансирования из +----------+----------+-------------+---------+

¦краевого бюджета ¦ 6060 ¦ 1250 ¦ 3865 ¦ 945 ¦

L------------------+----------+----------+-------------+----------

Ожидаемые конечные аппаратура для определения электрофизических

результаты параметров полупроводникового кремния.

реализации Система контроля и сертификации качества

программы поликристаллического кремния на основе

требований международных стандартов (SEMI и

ASTM).

Технологический регламент на проектирование

производственного участка контроля и

сертификации качества поликристаллического

кремния.

Система контроля качества и метрологического

обеспечения производства пластин

монокристаллического кремния.

Методика и оборудование для измерения

электрофизических параметров полупроводникового

кремния на основе эффекта Холла и инфракрасной

спектрометрии.

Установка для измерения времени жизни

неосновных носителей заряда в полупроводниковом

кремнии бесконтактным СВЧ-методом.

Подготовка 20 специалистов для производства

полупроводникового кремния на Горно-химическом

химическом комбинате.

Организация комитет по науке и высшему образованию

контроля за администрации края

исполнением

программы

ОБОСНОВАНИЕ

КРАЕВОЙ ЦЕЛЕВОЙ ПРОГРАММЫ

“СОЗДАНИЕ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО КРЕМНИЯ

В КРАСНОЯРСКОМ КРАЕ“ НА 2000 - 2002 ГОДЫ

На Горно-химическом комбинате Министерства Российской Федерации по атомной энергии на основании Указа Президента Российской Федерации от 25.01.95 N 72 “О государственной поддержке структурной перестройки и конверсии атомной промышленности в г. Железногорске Красноярского края“ и Постановления Правительства Российской Федерации от 05.04.97 N 392 реализуется инвестиционный проект “Организация комплексного производства полупроводникового монокристаллического кремния на ГХК Министерства Российской Федерации по атомной энергии“.

Создаваемое производство является одним из масштабных конверсионных проектов, способных в значительной степени решить проблему занятости персонала, высвобождаемого с военных производств, обеспечить выпуск конкурентоспособной продукции, обеспечить развитие научно-технического комплекса Красноярского края. На государственном предприятии “Красноярский машиностроительный завод“ разработана и изготовлена установка по автоматическому выращиванию монокристаллов кремния диаметром до 150 - 200 мм 221УА100, в настоящее время идет отработка техпроцессов выращивания монокристаллов кремния.

Для производства поликристаллического кремния методом водородного восстановления хлорсиланов на государственном предприятии “Красноярский машиностроительный завод“ изготовлена установка 221УП200, которая также проходит производственные испытания.

Полупроводниковый кремний является основным материалом современной полупроводниковой электроники, силовой электроники и солнечной энергетики. В развитых странах производство этого стратегического материала, элементов и устройств на его основе является исключительно важной составной частью национальной экономики и в значительной степени определяет уровень развития высокотехнологических отраслей промышленности, систем коммуникации и национальной безопасности. В течение ближайших десятилетий нельзя ожидать замены этого материала на какой-нибудь другой в производстве вычислительной техники, средств связи, систем автоматики и во всех других устройствах, основанных на твердотельной электронике.

Оценка существующего положения и перспектив развития мирового рынка полупроводникового кремния свидетельствует о явной тенденции к значительному возрастанию спроса на этот материал в ближайшие годы. Складывающаяся рыночная конъюнктура создает благоприятные условия для выхода на мировой рынок. Однако, по оценкам специалистов, эта благоприятная ситуация сохранится в течение ближайших 2 - 3 лет, после чего ниши на мировом рынке производителей полупроводникового кремния будут заняты. Это обстоятельство определяет необходимость высоких темпов развития его производства в России.

Учитывая большую перспективность наукоемких производств, администрация края подписала Соглашение “О сотрудничестве при создании полупроводникового кремния в Красноярском крае“ с Министерством Российской Федерации по атомной энергии.

Настоящая программа является конкретизацией основных пунктов данного Соглашения и включает:

- привлечение научных организаций Красноярского научного центра Сибирского отделения РАН, вузов, промышленных предприятий края для изготовления нестандартного технологического и электротехнического оборудования для оснащения кремниевого производства;

- подготовку специалистов-технологов для кремниевого производства.

ОСНОВНЫЕ ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ ПРОГРАММЫ

Основной целью программы является объединение научно-технического потенциала края и промышленных предприятий для ускорения создания комплексного производства полупроводникового кремния в Красноярском крае.

Основные задачи программы:

- на основе имеющегося научно-технического потенциала организаций Красноярского научного центра Сибирского отделения РАН и вузов Красноярского края ускорить выпуск конкурентоспособного на мировом рынке полупроводникового кремния;

- привлечь промышленные предприятия для выпуска нестандартного технологического и электротехнического оборудования для оснащения производства поликристаллического и монокристаллического кремния;

- осуществить на базе вузов г. Красноярска подготовку специалистов-технологов.

МЕХАНИЗМ РЕАЛИЗАЦИИ ПРОГРАММЫ

Реализацию программы обеспечивает комитет по науке и высшему образованию администрации края, который осуществляет организационные, методические и контрольные функции.

Комитет по науке и высшему образованию администрации края осуществляет координацию деятельности научных организаций Сибирского отделения РАН, вузов, предприятий и других организаций, принимающих участие в выполнении данной программы.

Выполнение мероприятий осуществляется на основе заключения договоров комитетом по науке и высшему образованию администрации края и головным исполнителем - специальным конструкторско-технологическим бюро “Наука“ Красноярского научного центра Сибирского отделения РАН в установленном порядке.

Финансирование мероприятий краевой целевой программы “Создание производства полупроводникового кремния в Красноярском крае на 2000 - 2002 годы“ осуществляется за счет средств краевого бюджета на основании актов приемки-сдачи работ.

Контроль за ходом реализации программы, контроль за ходом выполнения программы осуществляется комитетом по науке и высшему образованию администрации края.

Не реже одного раза в полугодие вопрос о реализации программы выносится на обсуждение координационного совета при Губернаторе края.

Распорядитель бюджетных средств ежеквартально предоставляет отчет о выполнении программы в Главное финансовое управление администрации края.

Приобретенное и изготовленное в процессе выполнения данной программы оборудование является собственностью комитета по науке и высшему образованию администрации края. Право на интеллектуальную собственность, созданную в процессе выполнения данной программы, принадлежит комитету по науке и высшему образованию администрации края.

МЕРОПРИЯТИЯ КРАЕВОЙ ЦЕЛЕВОЙ ПРОГРАММЫ

“СОЗДАНИЕ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО КРЕМНИЯ

В КРАСНОЯРСКОМ КРАЕ“ НА 2000 - 2002 ГОДЫ

-------T----------------------T--------------T---------------T------------------------------T------------T--------------¬

¦ N ¦ Мероприятие ¦Распорядитель ¦ Исполнители ¦ Объем финансирования ¦ Форма ¦ Источник ¦

¦ ¦ ¦ бюджетных ¦ ¦ (тыс. руб.) ¦расходования¦финансирования¦

¦ ¦ ¦ средств ¦ +------T-------T-------T-------+ бюджетных ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦ ¦всего ¦2000 г.¦2001 г.¦2002 г.¦ средств ¦ ¦

+------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+--------------+

¦ ¦ I. Научно-исследовательское работы ¦

+------+----------------------T--------------T---------------T------T-------T-------T-------T------------T--------------+

¦1.1 ¦Исследование процессов¦комитет по ¦Красноярский ¦ 140 ¦ 40 ¦ 75 ¦ 25 ¦оплата ¦краевой бюджет¦

¦ ¦тепломассопереноса в ¦науке и ¦научный центр ¦ ¦ ¦ ¦ ¦товаров, ¦ ¦

¦ ¦системе ¦высшему ¦СО РАН, СКТБ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦работ, услуг¦ ¦

¦ ¦кристалл-расплав, ¦образованию ¦“Наука“ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦оптимизация процессов ¦администрации ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦роста получения ¦края ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦монокристаллов ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦большого диаметра ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦(200 - 300 мм) по ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦методу Чохральского с ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦предельными ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦параметрами по чистоте¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦(примесному составу), ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦однородности и ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦структурного ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦совершенства ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

+------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+--------------+

¦1.2 ¦Исследование и ¦ ¦ ¦ 190 ¦ 40 ¦ 80 ¦ 70 ¦ ¦краевой бюджет¦

¦ ¦разработка систем ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦электромагнитного ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦воздействия на расплав¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦в тигле при ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦выращивании кремния ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦диаметром 150 - 200 мм¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦1.2.1 ¦Привлечение научных ¦ ¦Красноярский ¦ 165 ¦ 15 ¦ 80 ¦ 70 ¦оплата ¦ ¦

¦ ¦организаций ¦ ¦научный центр ¦ ¦ ¦ ¦ ¦товаров, ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦СО РАН, СКТБ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦работ, ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦“Наука“ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦услуг, бюдж.¦ ¦

¦1.2.2 ¦Приобретение ¦ ¦ ¦ 25 ¦ 25 ¦ - ¦ - ¦инвестиции ¦ ¦

¦ ¦оборудования ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦(компьютер) ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

+------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+--------------+

¦1.3 ¦Исследование процессов¦ ¦ ¦ 390 ¦ 70 ¦ 250 ¦ 70 ¦ ¦краевой бюджет¦

¦ ¦дефектообразования при¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦выращивании ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦монокристаллов кремния¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦и его термообработки ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦1.3.1 ¦Привлечение научных ¦ ¦Красноярский ¦ 357,6¦ 49,4 ¦ 238,2 ¦ 70 ¦оплата ¦ ¦

¦ ¦организаций ¦ ¦научный центр ¦ ¦ ¦ ¦ ¦товаров, ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦СО РАН, СКТБ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦работ, ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦“Наука“ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦услуг, бюдж.¦ ¦

¦1.3.2 ¦Приобретение ¦ ¦ ¦ 32,4¦ 20,6 ¦ 11,8 ¦ - ¦инвестиции ¦ ¦

¦ ¦оборудования ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦(компьютер, принтер) ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

+------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+--------------+

¦1.4 ¦Разработка методик и ¦ ¦ ¦ 360 ¦ 200 ¦ 80 ¦ 80 ¦ ¦краевой бюджет¦

¦ ¦оборудования для ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦измерения основных ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦параметров ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦полупроводников на ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦основе эффекта Холла и¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦инфракрасной ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦спектрометрии ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦1.4.1 ¦Привлечение научных ¦ ¦Красноярский ¦ 283,2¦ 61,6 ¦ 40 ¦ 40 ¦оплата ¦ ¦

¦ ¦организаций ¦ ¦научный центр ¦ ¦ ¦ ¦ ¦товаров, ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦СО РАН, СКТБ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦работ, услуг¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦“Наука“, ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦Лесосибирский ¦ ¦ 61,6 ¦ 40 ¦ 40 ¦ ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦педагогический ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦институт, ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦филиал КрасГУ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦1.4.2 ¦Приобретение ¦ ¦ ¦ 76,8¦ 76,8 ¦ - ¦ - ¦бюдж. ¦ ¦

¦ ¦оборудования ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦инвестиции ¦ ¦

¦ ¦(компьютер - 2 шт., ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦принтер, сетевое ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦оборудование) ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

+------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+--------------+

¦ II. Разработка и изготовление контрольно-метрологического оборудования ¦

+------T----------------------T--------------T---------------T------T-------T-------T-------T------------T--------------+

¦2.1 ¦Разработать и ¦комитет по ¦ ¦ 950 ¦ 300 ¦ 600 ¦ 50 ¦ ¦краевой бюджет¦

¦ ¦изготовить ¦науке и ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦вычислительный ¦высшему ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦комплекс контроля ¦образованию ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦удельного ¦администрации ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦электросопротивления ¦края ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦4-зондовым методом ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦шайб кремния диаметром¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦до 200 мм ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦2.1.1 ¦Привлечение научных ¦ ¦Красноярский ¦ 528,7¦ 84,1 ¦ 394,6 ¦ 50 ¦оплата ¦ ¦

¦ ¦организаций ¦ ¦научный центр ¦ ¦ ¦ ¦ ¦товаров, ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦СО РАН, СКТБ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦работ, ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦“Наука“ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦услуг, бюдж.¦ ¦

¦2.1.2 ¦Приобретение ¦ ¦ ¦ 421,3¦ 215,9 ¦ 205,4 ¦ - ¦инвестиции ¦ ¦

¦ ¦оборудования ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦(компьютер - 2 шт., ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦принтер, модем, ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦программное ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦обеспечение, ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦комплектующие изделия ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦и материалы) ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

+------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+--------------+

¦2.2 ¦Выпуск опытной партии ¦ ¦ ¦1350 ¦ - ¦1000 ¦ 350 ¦ ¦краевой бюджет¦

¦ ¦вычислительно- ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦измерительного ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦комплекса ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦2.2.1 ¦Привлечение научных ¦ ¦Красноярский ¦1004,1¦ - ¦ 724,1 ¦ 280 ¦оплата ¦ ¦

¦ ¦организаций ¦ ¦научный центр ¦ ¦ ¦ ¦ ¦товаров, ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦СО РАН, СКТБ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦работ, ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦“Наука“ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦услуг, бюдж.¦ ¦

¦2.2.2 ¦Приобретение ¦ ¦ ¦ 345,9¦ - ¦ 275,9 ¦ 70 ¦инвестиции ¦ ¦

¦ ¦оборудования ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦(компьютер - 2 шт., ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦принтер, модем, ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦программное ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦обеспечение, ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦комплектующие изделия ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦и материалы) ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

+------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+--------------+

¦2.3 ¦Разработать и ¦ ¦ ¦ 200 ¦ 80 ¦ 100 ¦ 20 ¦ ¦краевой бюджет¦

¦ ¦изготовить установку ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦для определения типа ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦электропроводимости ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦монокристаллического ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦кремния ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦2.3.1 ¦Привлечение научных ¦ ¦Красноярский ¦ 154,5¦ 69 ¦ 65,5 ¦ 20 ¦оплата ¦ ¦

¦ ¦организаций ¦ ¦научный центр ¦ ¦ ¦ ¦ ¦товаров, ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦СО РАН, СКТБ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦работ, ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦“Наука“ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦услуг, бюдж.¦ ¦

¦2.3.2 ¦Приобретение ¦ ¦ ¦ 45,5¦ 11 ¦ 34,5 ¦ - ¦инвестиции ¦ ¦

¦ ¦оборудования (принтер,¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦комплектующие изделия ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦и материалы) ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

+------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+--------------+

¦2.4 ¦Выпуск опытной партии ¦ ¦ ¦ 300 ¦ - ¦ 250 ¦ 50 ¦ ¦краевой бюджет¦

¦ ¦установок ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦2.4.1 ¦Привлечение научных ¦ ¦Красноярский ¦ 150 ¦ - ¦ 100 ¦ 50 ¦оплата ¦ ¦

¦ ¦организаций ¦ ¦научный центр ¦ ¦ ¦ ¦ ¦товаров, ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦СО РАН, СКТБ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦работ, услуг¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦“Наука“ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦бюдж. ¦ ¦

¦2.4.2 ¦Приобретение ¦ ¦ ¦ 150 ¦ - ¦ 150 ¦ - ¦инвестиции ¦ ¦

¦ ¦оборудования ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦(комплектующие изделия¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦и материалы) ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

+------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+--------------+

¦2.5 ¦Разработка и ¦ ¦ ¦ 750 ¦ 300 ¦ 400 ¦ 50 ¦ ¦краевой бюджет¦

¦ ¦изготовление установки¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦для измерения времени ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦жизни неосновных ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦носителей заряда в ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ “ ¦ ¦ ¦

¦ ¦полупроводниковом ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦кремнии бесконтактным ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦СВЧ-методом ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦2.5.1 ¦Привлечение научных ¦ ¦Красноярский ¦ 276,9¦ 40,9 ¦ 186 ¦ 50 ¦оплата ¦ ¦

¦ ¦организаций ¦ ¦научный центр ¦ ¦ ¦ ¦ ¦товаров, ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦СО РАН, СКТБ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦работ, услуг¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦“Наука“ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦бюдж. ¦ ¦

¦2.5.2 ¦Приобретение ¦ ¦ ¦ 473,1¦ 259,1 ¦ 214 ¦ - ¦инвестиции ¦ ¦

¦ ¦оборудования ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦(компьютер - 2 шт., ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦принтер, модем, ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦комплектующие изделия ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦и материалы) ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

+------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+--------------+

¦2.6 ¦Выпуск опытной партии ¦ ¦ ¦ 750 ¦ - ¦ 700 ¦ 50 ¦ ¦краевой бюджет¦

¦ ¦установок ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦2.6.1 ¦Привлечение научных ¦ ¦Красноярский ¦ 408 ¦ - ¦ 358 ¦ 50 ¦оплата ¦ ¦

¦ ¦организаций ¦ ¦научный центр ¦ ¦ ¦ ¦ ¦товаров, ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦СО РАН, СКТБ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦работ, ¦ ¦

¦ ¦ ¦ ¦“Наука“ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦услуг, бюдж.¦ ¦

¦2.6.2 ¦Приобретение ¦ ¦ ¦ 342 ¦ - ¦ 342 ¦ ¦инвестиции ¦ ¦

¦ ¦оборудования ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦(комплектующие изделия¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦и материалы) ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

+------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+--------------+

¦2.7 ¦Разработка системы ¦ ¦Красноярский ¦ 180 ¦ 80 ¦ 80 ¦ 20 ¦оплата ¦краевой бюджет¦

¦ ¦контроля и ¦ ¦научный центр ¦ ¦ ¦ ¦ ¦товаров, ¦ ¦

¦ ¦сертификации качества ¦ ¦СО РАН, СКТБ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦работ, услуг¦ ¦

¦ ¦поликристаллического ¦ ¦“Наука“ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦кремния на основе ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦требований стандартов ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦SEMI и ASTM ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

+------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+--------------+

¦2.8 ¦Разработка ¦ ¦Красноярский ¦ 160 ¦ 50 ¦ 100 ¦ 10 ¦оплата ¦краевой бюджет¦

¦ ¦технологического ¦ ¦научный центр ¦ ¦ ¦ ¦ ¦товаров, ¦ ¦

¦ ¦регламента на ¦ ¦СО РАН, СКТБ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦работ, услуг¦ ¦

¦ ¦проектирование ¦ ¦“Наука“ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦производственного ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦участка контроля и ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦сертификации качества ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦поликристаллического ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦кремния ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

+------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+--------------+

¦2.9 ¦Разработка системы ¦ ¦Красноярский ¦ 190 ¦ 40 ¦ 100 ¦ 50 ¦оплата ¦краевой бюджет¦

¦ ¦контроля и качества ¦ ¦научный центр ¦ ¦ ¦ ¦ ¦товаров, ¦ ¦

¦ ¦метрологического ¦ ¦СО РАН, СКТБ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦работ, услуг¦ ¦

¦ ¦обеспечения ¦ ¦“Наука“ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦производства пластин ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦монокристаллического ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦кремния ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

+------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+--------------+

¦ ¦ III. Подготовка специалистов ¦

+------+----------------------T--------------T---------------T------T-------T-------T-------T------------T--------------+

¦3.1 ¦Подготовка ¦комитет по ¦Красноярский ¦ 150 ¦ 50 ¦ 50 ¦ 50 ¦оплата ¦краевой бюджет¦

¦ ¦специалистов для ¦науке и ¦государственный¦ ¦ ¦ ¦ ¦товаров, ¦ ¦

¦ ¦производства и ¦высшему ¦университет ¦ ¦ ¦ ¦ ¦работ, услуг¦ ¦

¦ ¦контроля качества ¦образованию ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦полупроводникового ¦администрации ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

¦ ¦кремния ¦края ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦ ¦

+------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+--------------+

¦ ¦ИТОГО по программе ¦ ¦ ¦6060 ¦1250 ¦3865 ¦ 945 ¦ ¦ ¦

L------+----------------------+--------------+---------------+------+-------+-------+-------+------------+---------------

ОЦЕНКА СОЦИАЛЬНО-ЭКОНОМИЧЕСКОЙ ЭФФЕКТИВНОСТИ

РЕАЛИЗАЦИИ ПРОГРАММЫ

Реализация мероприятий программы позволит:

- обеспечить научно-методическое и метрологическое сопровождение производства полупроводникового кремния в крае;

- подготовить специалистов для производства и контроля качества полупроводникового кремния;

- ускорить запуск промышленного производства полупроводникового кремния, что даст возможность создать около четырех тысяч новых рабочих мест, а это значительно снизит остроту социальных проблем конверсионных предприятий края.

БЮДЖЕТНАЯ ЗАЯВКА НА АССИГНОВАНИЯ ИЗ КРАЕВОГО

БЮДЖЕТА НА 2000 Г.

-------------------------------------------------T---------------¬

¦ Наименование ¦ Объемы ¦

¦ ¦финансирования,¦

¦ ¦ тыс. руб. ¦

+------------------------------------------------+---------------+

¦111010 Оплата услуг научно-исследовательских ¦ 591,6 ¦

¦ организаций ¦ ¦

+------------------------------------------------+---------------+

¦240120 Приобретение непроизводственного ¦ 608,4 ¦

¦ оборудования и предметов длительного ¦ ¦

¦ пользования для государственных ¦ ¦

¦ учреждений ¦ ¦

+------------------------------------------------+---------------+

¦111040 Прочие текущие расходы ¦ 50 ¦

+------------------------------------------------+---------------+

¦800000 ИТОГО ¦ 1250 ¦

L------------------------------------------------+----------------